中国用DUV多重图案化逼近5nm 成本飙升引担忧
Tom's Hardware报道,中国在无法获得EUV光刻机的情况下,利用DUV多重图案化技术将芯片制造推近至5nm节点。但芯片面积增大、良率下滑、成本飙升,专家称继续推进经济上不可行。
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Tom's Hardware报道,中国在无法获得EUV光刻机的情况下,利用DUV多重图案化技术将芯片制造推近至5nm节点。但芯片面积增大、良率下滑、成本飙升,专家称继续推进经济上不可行。
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